离子束清洗(ion beam cleaning)把离子束抛光的原理应用于清洗晶片表面,称为离子束清洗。与其他清洗方法相比,离子束清洗具有无沾污、表面结构完整、无微坑等优点。
【离的意思】:离(離) lí(ㄌ一ˊ) (一)、相距,隔开:距离。太阳是离地球最近的恒星。(二)、离开,分开:分离 详情>
【子的意思】:子 zǐ(ㄗˇ) (一)、古代指儿女,现专指儿子:子女。子孙。子嗣。子弟(后辈人,年轻人 详情>
【束的意思】:束 shù(ㄕㄨˋ) (一)、捆住,系:束缚。束装(整理行装)。束发( fà )。束之高阁。束手无策 详情>
【清的意思】:清 qīng(ㄑ一ㄥ) (一)、水或其他液体、气体纯净透明,没有混杂的东西,与“浊”相对:清水。清泉 详情>
【洗的意思】:洗 xǐ(ㄒ一ˇ) (一)、用水去掉污垢:洗脸。洗涮。洗涤。洗澡。洗心革面(喻彻底悔改)。(二)、清 详情>