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硼磷硅玻璃

词语繁体：硼磷矽玻璃

词语读音：péng lín guī bō lí

首字拼音：Peng

词语拼音：peng lin gui bo li

词语简拼：PLGBL

网络解释释义

硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层间介电质(AVID)在IC制造中有着广泛的应用。二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质(B2O3、P2O5 )的加入而变得疏松，在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能够提高整个硅片表面的平坦化，从而为光刻及后道工艺提供更大的工艺范围。

词语分字意思解释

【硼的意思】：硼 péng（ㄆㄥˊ）（一）、一种非金属元素，有结晶与非结晶两种形态。用于制造合金，亦可用作原子反 详情>

【磷的意思】：磷 lín（ㄌ一ㄣˊ）（一）、一种非金属元素，常见的有“白磷”和“红磷”：磷火（俗称“鬼火”）。磷 详情>

【硅的意思】：硅 guī（ㄍㄨㄟ）（一）、一种非金属元素，是一种半导体材料，可用于制作半导体器件和集成电路。旧称 详情>

【玻的意思】：玻 bō（ㄅㄛ）（一）、〔玻璃〕a.一种质地硬而脆的透明物品，一般用细纱、石灰石、碳酸钠等混合起来 详情>

【璃的意思】：璃 lí（ㄌ一ˊ）（一）、〔玻璃〕见“玻”。（二）、〔琉璃〕见“琉”。 详情>

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