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快速热退火是用各种热辐照源，直接照射在样品表面上，迅速将样品加热至700~1200℃左右在几秒~几十秒的时间内完成退火。它与常规热退火相比，有下列优点：样品在相同的保护条件下，可以使用较高的退火温度，这有利于提高注入杂质的激活率与迁移率，尤其适合大剂量注入的样品，因为大剂量注入造成的损伤严重，需要在较高温度下退火，瞬态退火可以减少注入杂质的再分布，形成陡峭的杂质分布或突变结，另外当退火温度要求不十分高时，样品表面无须用介质膜保护，简化了工艺。
【快的意思】：快 kuài（ㄎㄨㄞˋ） （一）、速度大，与“慢”相对：快车。快件。快步。快速。快捷。快马加鞭。（二 详情>
【速的意思】：速 sù（ㄙㄨˋ） （一）、快：速记。速效。速印。速写。速成。飞速。神速。（二）、速度：慢速。超速。 详情>
【退的意思】：退 tuì（ㄊㄨㄟˋ） （一）、向后移动，与“进”相对：退步。退路。退却。退让。倒退。（二）、离开， 详情>
【火的意思】：火 huǒ（ㄏㄨㄛˇ） （一）、燃烧，物质燃烧时所发出的光和焰：火力。火烛。火源。火焰。烟火。火中取 详情>
• 快速退火炉离子注入退火工艺设计
• 对电子束物理气相沉积高硅硅钢片进行了高温快速退火处理。
• 结果表明：层层快速退火工艺，可有效抑制焦绿石相的形成。
