吹洗体积p.}rged }alume拟被吹除或置换的不需要的气体所占据的管道、阀门,减压器和其他部件的体积之和。在半导体厂供气系统中,要求尽量缩短供气管,阀门、J}压器和其他配件的内部容积应尽叮能小,没食死体积,与气休接触的材质表面光洁,不吸附气体和水分,不放气、无粒子脱落。满x}` }}i}}条件就可以减少吹洗用气休量,缩短吹洗时间。
【吹的意思】:吹 chuī(ㄔㄨㄟ) (一)、合拢嘴唇用力出气:吹打。吹灯(a.把灯火吹灭;b.喻人死亡;c.喻失 详情>
【洗的意思】:洗 xǐ(ㄒ一ˇ) (一)、用水去掉污垢:洗脸。洗涮。洗涤。洗澡。洗心革面(喻彻底悔改)。(二)、清 详情>
【体的意思】:体(體) tǐ(ㄊ一ˇ) (一)、人、动物的全身:身体。体重。体温。体质。体征(医生在检查病人时所发 详情>
【积的意思】:积(積) jī(ㄐ一) (一)、聚集:积少成多。处心积虑。积储。积愤。积郁。积怨。积愿。积累( lě 详情>