离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。
【离的意思】:离(離) lí(ㄌ一ˊ) (一)、相距,隔开:距离。太阳是离地球最近的恒星。(二)、离开,分开:分离 详情>
【子的意思】:子 zǐ(ㄗˇ) (一)、古代指儿女,现专指儿子:子女。子孙。子嗣。子弟(后辈人,年轻人 详情>
【注的意思】:注 zhù(ㄓㄨˋ) (一)、灌进去:注入。注射。大雨如注。(二)、(精神、力量)集中在一点:注视。 详情>
【入的意思】:入 rù(ㄖㄨˋ) (一)、进,由外到内:进入。入梦。(二)、适合,恰好合适:入选。入耳。 详情>
【机的意思】:机(機) jī(ㄐ一) (一)、事物发生的枢纽:生机。危机。转( zhuǎn )机。契机。(二)、对 详情>
• 小电流离子注入机
• 中电流离子注入机
• 离子束用于各种应用场合,诸如,质谱仪和离子注入机等。
• 研究结果表明,合理地采用差压抽气技术就可以有效地降低离子源漏气对离子注入机真空度造成的不利影响。
• 通过对离子注入机离子源灯丝绝缘子的结构、尺寸、实际工作效果等方面的分析,提出了一种注入机离子源灯丝绝缘子的优化设计。