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扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。
【扩的意思】：扩（擴） kuò（ㄎㄨㄛˋ） （一）、推广，伸张，放大，张大：扩大。扩展。扩散（ sàn ）。扩建。 详情>
【散的意思】：散 sàn（ㄙㄢˋ） （一）、分开，由聚集而分离：分散。解散。涣散。散落。散失。散逸。（二）、分布， 详情>
• 高真空油扩散泵的研制
• 常规的系统使用油扩散泵。
• 前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾
• 注入回旋加速器真空系统利用了原有油扩散泵。
• 该机抽气系统由低温泵、扩散泵和机械泵组成。
• 揭示了扩散泵返流的实质，为减少扩散泵返流提供了理论依据。
• 试验证实油扩散泵抽气系统的返油污染对被试卫星造成非常有害的影响。
• 巩华牌系列扩散泵油是金属扩散泵及玻璃扩散泵真空抽气时使用的工作液。
