金属硅化物是指过渡金属与硅生成的硬质化合物。由于硅原子半径较大,不能与过渡金属生成间隙化合物,因而这类硬质化合物化学成分稳定金属硅化物具有好的抗氧化性。
【金的意思】:金 jīn(ㄐ一ㄣ) (一)、一种化学元素,符号Au,原子序数79,黄赤色,质软:黄金。金子。金笔。 详情>
【属的意思】:属(屬) shǔ(ㄕㄨˇ) (一)、同一家族的:亲属。眷属。烈属。(二)、类别:金属。吾属。(三)、 详情>
【硅的意思】:硅 guī(ㄍㄨㄟ) (一)、一种非金属元素,是一种半导体材料,可用于制作半导体器件和集成电路。旧称 详情>
【化的意思】:化 huà(ㄏㄨㄚˋ) (一)、性质或形态改变:变化。分化。僵化。教( jiào )化。熔化。融化。 详情>
【物的意思】:物 wù(ㄨˋ) (一)、人以外的具体的东西:事物。生物。物体。货物。礼物。文物。物价。物质。地大物 详情>
• 金属硅化物复合材料涂层耐磨性研究
• 因此在硅基底上形成金属硅化物薄膜也被广泛应用于半导体工业。
• 用于增强和取代多晶硅的难熔金属和难熔金属硅化物通常是用物理蒸发沉积工艺沉积的。
• 金属硅化物的制备方法和工艺条件对硅化物的形成及分布有显著的影响,从而影响其显微结构。